根据日本经济新闻报道,日本光学大厂nikon计划在2025财年(截至2026年3月)将把半导体曝光机主力机型的年销量,提升至2019~2021财年(截至2022年3月)这三年平均销量的2倍以上。预计,nikon将以2023年上市、用以支持3d半导体制造的新产品为发展核心。
一直以来曝光机都是半导体制造的关键设备,但是,在半导体曝光机市场其中,荷兰商艾司摩尔 (asml) 当前一家独大,拿下了大部分的市场占比。根据统计数据显示,2020年全球半导体曝光机总销量约413台,销售金额约130亿美元。其中,用于芯片制造的曝光机基本都是asml、nikon,以及另一家日本厂商canon等三家公司的产品。
以这样的统计数据来分析,从以销量来观察,asml销量为258台占比达62%,其中euv曝光机出货量就达到达到31台。就销售金额来说,asml的占比高达将近90%。至于,canon的销量为122台,市场占比30%。nikon销量则为33台,占比8%。可以说,nikon已经是越来越边缘化。
因此,为了提升市场占比,nikon计划在2023年推出光源使用化合物“氟化氩(arf)”、并且支持3dic的arf浸润式曝光机的新产品,可以适应3d堆栈结构器件生产,例如3d nand flash闪存、图像传感器等。nikon也希望将到2025年之际,将arf曝光机销量达到目前的两倍。目前,该公司平均每年售出含二手翻新的16台arf曝光机。
(首图来源:nikon)